水環式真空泵的汽蝕也是眾所周知的，對真空泵的破壞是一種日積月累的過程，容易造成葉輪穿孔，氣蝕現象是一種經常在水力機械中發生的高噪聲和破壞性很厲害的現象，為什么真空泵會產生氣蝕現象?

　　它的發生原理是：由于液體動力作用，當運動液體的局部壓力降低到該溫度下的汽化壓力時，液體就開始汽化而形成汽泡，汽泡中充滿了液體的蒸汽及少量溶解于液體中的氣體。當汽泡隨著運動液體到達靜壓超過臨界壓力的區域時，汽泡中的蒸汽又突然凝結而使汽泡破滅。因為汽泡中的壓力始終低于或近于臨界值，而外面液體的壓力相對而言卻很大，所以汽泡破滅時，周圍液體以很高的速度向汽泡中心沖去而形成高頻水錘作用，產生很高的局部應力和局部溫度升高，并產生噪聲和振動。這種汽泡的產生和破滅過程反復進行就會對這一區域的零件表面產生破壞作用，再加上液體與零件材料的化學和電化學腐蝕作用，最終造成具有海綿狀或蜂窩狀特征的汽蝕損壞。

　　也有研究表明，即使在臨界壓力以上，也有可能產生汽蝕現象。因為壓力降低時，溶解在液體里的空氣及其它氣體就會分析出來，同時又把液體的蒸汽也帶出來，形成充滿液體蒸汽及氣體的汽泡，這些汽泡特別容易在運動零件表面產生并長大，被液體帶走，到壓力高的地方就突然凝結和破滅。

　　發生氣蝕的臨界壓力隨液體的性質、溫度及溶解的氣體的性質而異。有關水泵的資料介紹，對于除氣的常溫水，可以把相當于該水溫下的飽和蒸汽壓作為發生汽泡的臨界壓力值。